Technology-技術紹介
 
 
大気圧プラズマ発生用電源を開発しました。
従来のプラズマ発生の技術は、低い気圧下か真空中に於いてRF電源を使ってプラズマを発生させ、表面改質や製膜を行ってきました。また常圧でプラズマを発生させる技術としては、ヘリウムガスを使い、電源は同じくRF電源を使って行ってきました。Heガスを使うとランニングコストが高くなり、トータルコストがアップするため、あまり実用化されていないのが現状であります。
弊社では、常圧プラズマを発生させるのにArガス、N2ガスを使ってプラズマが発生出来ないか、研究を積み重ね、この度、Arガス、N2ガスで常圧プラズマを発生させる高圧パルス電源を開発しました。この電源を用いれば、電極に誘電体電極を使い平行板状で大面積プラズマまたは、吹き出し型のプラズマが発生可能である。性能を従来の連続波型電源と比較しても、電極の発熱膨張率が低く、ストリーマ放電が少なく均一なプラズマが発生でき、親水性もよいことが判りました。
この電圧パルス電源の他の用途としては、コロナ処理器として応用でき、RF電源の様なマッチングボックスは不要で、簡単容易に設置できます。また、大気中でプラズマを発生できることから不活性ガスを使わずに均一な処理ができるので、将来広範囲な用途に応用されることが可能になりました。
グライディングプラズマ
 
プラズマ(大気圧)
 
プラズマ(アルゴン)
 
電源機器の性能:
1.立上り/立下り時間が極めて短いこと。
2.高電圧±15kv バイポーラ形ワンサイクルサイン波状のパルス波形。
3.繰り返し周波数が1Hz 〜 100KHzまで連続して選べること。
4.出力インピーダンスが数Ω以下のため、負荷の影響を
  受けにくく、マッチングボックスが不要で取り扱いが
  容易である。
5.パルス幅が、狭い幅から広い幅まで自由に変えられる。

 
主な用途:
1.樹脂基材の濡れ性改善:PP、PET、PE、PTFE
2.ガス分解      :Nox、フロン、Co2、Sox
3.CVD、エッチング、洗浄
4.コロナ処理