Product-製品案内
大気圧プラズマ発生装置
☆大気圧中でプラズマを発生 表面改質に最適

概 要
本装置は、バイポーラパルス電源と誘電体電極を使い、誘電体に高電圧パルスを印加して、大気中でプラズマを発生させることの出来る大気圧グロー放電プラズマ発生装置。従来、プラスチック基材の表面処理は、コロナ放電によって行われて来ましたが、近年高密度の処理を要求されており、コロナ放電による方法は、ストリーマを多く含んだ放電のため、処理の均一性に欠け、また経時変化に対しても、短時間で劣化してしまう欠点があった。
又、大気圧中でグロー状の放電を発生させるための技術は、ヘリウムガスを使いグロー放電を発生させる方法があるが、ガスのランニングコストが高いため、実用性がなく現時点において、使用されていないのが現状である。弊社のプラズマ発生装置は、ヘリウムガスを使わず、アルゴンガス、窒素ガス、また空気中において、ストリーマのないグロー放電プラズマ発生装置であり、また単位面積あたりのプラズマ密度が高いため均一な処理が出来、高速処理が可能である。

特 長
■誘電体電極間隙 4mm 達成
■Nガス中でグロー放電可能
■高周波のため高速処理が可能
■濡れ性改善 接触角5°(ガラス面、1秒間)

用 途
タイプ用途
ストレートタイプ表面改質 洗浄 殺菌
ガス分解 水の分解
吹き出し型タイプ3次元物濡れ性改善
アッシング 光の分解