Product-製品案内
高圧パルス電源
☆負荷の影響を受けない、立上り・立下り時間が高速

概 要
高圧パルス電源HVPシリーズは、マッチングボックスが不要で、プラズマを発生出来る。高速スイッチング半導体を2組使い高電圧をスイッチングさせ高圧パルスを発生。
昇圧にトランスを使わずダイレクトに負荷に供給出来るため、負荷の影響を受けず立上り・立下りの速いパルス電圧を得ている。

特 長
■出力インピーダンスが100Ωと極めて低インピーダンスであり、負荷の影響を受けない
■立上り・立下り時間 600ns(at 30kV)
■アーキング防止回路を付けることにより高速にアークを遮断

仕 様
HVP-10K HVP-20K
極  性 正又負 正又負
スイッチング素子 MOSFET MOSFET
出力容量 10kV/20A 20kV/20A
平均電流 20A 20A
ピーク電流 30A 30A
パルス幅 5μs 15μs
繰返し周波数 5kHz 1kHz
立上り・
立下り時間
150ns 300ns
用 途
プラズマイオン注入、DLC、カーボンナノチューブ、試験装置