Product-製品案内
直流高圧安定化電源
☆PWM制御零ボルトスイッチング共振型方式
小型軽量

概 要
直流高圧安定化電源HDシリーズは、PWM制御共振型零ボルトスイッチング方式を採用しているため、大容量化が可能。
出力側から信号をフィードバックし、CV、CC、CP制御、高精度の直流高圧安定化電源です。

特 長
■パルス幅0〜100%制御により電力調整が可能のため、小型、軽量である
■出力精度 高精度0.02%以下
■HDFシリーズは、フローティング出力耐圧2kVの出力を得ている
■スパッタリング用DCバイアス電源に最適
■アーキング防止回路を設けることにより、アークを高速に遮断

仕 様
HD-100 HD-200F HD-300
出力容量 500W 100W〜3kW 1kW〜8kW
極  性 正又負又正負切替 フローティング耐圧2kV 正又負
リップル含有率 0.05%以下 0.5%以下 1%以下
電源電圧変動率 0.02%以下 0.05%以下 0.5%以下
負荷変動率(CV) 0.1%以下 0.5%以下 1%以下
レスポンス 20ms 20ms 30ms
制御方式 CV,CC CV,CC,CP CV,CC,CP
出力復帰時間 10ms 20ms 20ms
保護機能 OV,OC,カウンタトリップ OC OC

用 途
シリーズ用   途
HD-100フィルムの帯電装置 繊維の開繊装置 エレクトレッド
ピンニング装置 ピンホール検出装置
HD-200Fイオン加速器 イオン減速機
プラズマ発生器 スパッタリング
HD-300RFプラズマのバイアス電源 スパッタリング
イオンビーム
ラインアップ
HD100シリーズ
型式 電圧 電流 外形寸法
W×H×D(mm)
HD-0150 (P又N) 1kV 50mA 480×150×360
HD-0250 (P又N) 2kV 50mA 480×150×360
HD-0520 (P又N) 5kV 20mA 480×150×360
HD-1010 (P又N) 10kV 10mA 480×150×450
HD-1050(P又N) 10kV 50mA 480×150×450
HD-1510 (P又N) 15kV 10mA 480×150×450
HD-1520 (P又N) 15kV 20mA 480×150×450
HD-1550 (P又N) 15kV 50mA 480×200×450
HD-2010 (P又N) 20kV 10mA 480×200×500
HD-2020 (P又N) 20kV 20mA 480×200×550
HD-2030 (P又N) 20kV 30mA 480×200×550
HD-3010 (P又N) 30kV 10mA 480×200×550
HD-3020 (P又N) 30kV 20mA 480×200×600
HD-3030 (P又N) 30kV 30mA 480×200×600
HD-4010 (P又N) 40kV 10mA 480×250×600
HD-4020 (P又N) 40kV 20mA 480×250×600
HD-5005 (P又N) 50kV 5mA 480×250×600
HD-5010 (P又N) 50kV 10mA 480×250×600
HD-5020 (P又N) 50kV 20mA 480×250×600
HD-6005 (P又N) 60kV 5mA 480×250×600
HD-6010 (P又N) 60kV 10mA 480×250×600
HD-7005 (P又N) 70kV 5mA 480×300×600
HD-7010 (P又N) 70kV 10mA 480×300×600
HD-8005 (P又N) 80kV 5mA 480×300×600
HD-8010 (P又N) 80kV 10mA 480×300×600
HD-200Fシリーズ
型式 電圧 電流 外形寸法
W×H×D(mm)
出力耐圧
HD-1K01F 1kV 100mA 480×150×500 2kV
HD-1K05F 1kV 500mA 480×150×500 2kV
HD-1K10F 1kV 1A 480×150×500 2kV
HD-2K01F 2kV 100mA 480×200×600 2kV
HD-2K05F 2kV 500mA 480×200×600 2kV
HD-2K10F 2kV 1A 480×200×600 2kV
HD-3K01F 3kV 100mA 480×200×600 2kV
HD-3K05F 3kV 500mA 480×200×600 2kV
HD-3K10F 3kV 1A 480×200×600 2kV
HD-4K01F 4kV 100mA 480×200×600 2kV
HD-4K05F 4kV 500mA 480×200×600 2kV
HD-4K10F 4kV 1A 480×200×600 2kV
HD-5K01F 5kV 100mA 480×200×600 2kV
HD-5K05F 5kV 500mA 480×200×600 2kV
HD-5K10F 5kV 1A 480×200×600 2kV
HD-300シリーズ
(アーキング時高速遮断、カウンタトリップ機能、出力再復帰型)
型式 電圧 電流 外形寸法
W×H×D(mm)
HD-1K10 (P又N) 1kV 1A 480×200×600
HD-1K20 (P又N) 1kV 2A 480×200×600
HD-1K30 (P又N) 1kV 3A 480×200×600
HD-1K40 (P又N) 1kV 4A 480×200×600
HD-1K50 (P又N) 1kV 5A 480×200×600
HD-1K60 (P又N) 1kV 6A 480×200×600
HD-1K70 (P又N) 1kV 7A 480×200×600
HD-1K80 (P又N) 1kV 8A 480×200×600
HD-2K10 (P又N) 2kV 1A 480×200×600
HD-2K20 (P又N) 2kV 2A 480×200×600
HD-2K30 (P又N) 2kV 3A 480×250×600
HD-2K40 (P又N) 2kV 4A 480×250×600
HD-3K10 (P又N) 3kV 1A 480×250×600
HD-3K20 (P又N) 3kV 2A 480×250×700
HD-4K10 (P又N) 4kV 1A 480×250×700
HD-4K20 (P又N) 4kV 2A 480×300×700