Product-製品案内

デュアルスパッタ用高周波パルス電源
波形
 近年、スパッタ用の電源としてはRF電源、DC電源が使用されていますが、処理技術が進みその制御精度が難しくなってきています。
 RF電源を使用した場合、マッチングが難しくDC電源を使用した場合、アーキングを発生するといったことが現状です。これに代わる電源として使いやすさの点からパルス電源が最近使われる様になってきました。
 弊社は、既に特許を取得したスイッチング回路を使い交互に繰り返すバイポーラパルスをつくり、ターゲットに供給し仕事をさせるデュアルスパッタリング用電源を開発しました。
 通常のパルス電源は、運転してから暫くするとターゲットに絶縁層が出来、スパッタ出来なくなるといった事から、片パルスでなくパルスを正負非対称にしたバイポーラパルスを使い、ディスチャージ回路を設け絶縁層が形成されない様に工夫した電源に移行しました。
 しかし、レイトを速めるため、近年ターゲットを2つ設けて行うデュアルスパッタが注目されてきています。
 特に金属に絶縁膜をスパッタさせる技術として高周波パルス電源を使い、2つのターゲットに交互にパルスを印加してやるとアーキングの発生がなく、又、絶縁層の形成もなく安定した膜付が出来る、優れた方式の電源として将来期待されるものと思われます。
 電源の仕様としては、出力電圧が0〜±1kVフローティング出力、出力容量が1kW〜5kW、繰り返し周波数10kHz〜50kHz、パルス立上り、立下り時間100ns以下、パルス幅0〜50%可変、高速アーキング遮断機能内蔵、販売価格120万〜350万、年間台数100台、販売先は特に、大学、試験所、研究所を中心とし開発に順ずるところに的を絞って販売したい。
スパッタリング用パルス電源 PS-5K型
スパッタリング用パルス電源Lスパッタリング用パルス電源R
概 要
本電源はDC電源部とスイッチング電源部で構成、スイッチング電源部で繰り返し周波数、パルス幅、波形の設定を行います。パルスの立上がり・立下りは100ns以下と非常にシャープなパルス波形を形成し、負荷に効率的な電力供給が出来ます。アーク発生を抑制するため高速アーク遮断機能を内蔵しています。

特 長
■負荷とのマッチング回路が不要で電源としての取り扱いが容易です。
■出力周波数の設定範囲が10〜50kHzと広く取れるため各種負荷に適用できます。
■応答速度の速いアーク遮断機能を内蔵しています。
■対称バイポーラ・パルス電源、ユニ・ポーラ・パルス電源(正極、又は、負極)、
 直流電源、非対称バイポーラ・パルス電源(オプション)として使用できます。

用 途
デュアル・スパッタリング、反応性スパッタリング等のスパッタリング 並びにプラズマ・クリーニング表面改質、エッチング、CVD,PVD装置の電源としてシステムの性能アップが図れます。

仕 様
電源入力 AC200V±10% 50/60Hz 1φ又は3φ
出力電圧 0〜±1kV
出力容量 1kW, 2kW, 5kW
(DC電源の出力容量にてパルス出力容量では10kW, 20kW, 50kW)
出力周波数 10〜50kHz(オプションにて150kHzまで拡張可能)
立ち上り・
立下り時間
100ns以下
パルス幅 0〜50%(デュアルタイプ) 0〜90%(非対称タイプ)
出力電力安定度 0.5%以下 定電圧制御 CV, CW方式
出力設定方式 PWMによる電圧及び電力制御設定
保護機能 ゲート遮断による電圧垂下型高速電圧休止,数ms後に再復帰
タイマー、カウンターの組み合わせにより電源をトリップ
アーク検出 5μs アーク遮断時間 10ms
冷却方式 ファンによる強制空冷
温度・湿度 0 〜 40℃ 10 〜 85%RH
外形寸法 W570 x H626 x D700
本体重量 80kg
波 形
波形-対象
対称デュアルパルス波形

波形-非対称
非対称デュアルパルス波形
外観寸法図
電源部
外観寸法図-電源部
スイッチング部
外観寸法図-スイッチング部