Product-製品案内
プラズマ発生用高周波高圧電源 PHF-2K型
概 要
本器は、大気中、真空中いずれに於いてもプラズマが発生する高周波高圧インパルス電源機器です。樹脂機能材の表面改質、環境汚染への利用に使用出来ます。

特 長
■パルス波信号の立上がり/立下がり時間が速いのでイオン発生量が
 従来の高周波装置(サイン波)に比べて10倍以上の処理効果がある。
■出力周波数を広範囲に連続して変化させることができる。
■マッチングボックス不要なので取り扱いが容易で経済性に優れている。

用 途
樹脂機材の表面改質、オゾン発生器、ランプ光源、スパッタリング、イオンプレーティング、エッチング、洗浄ガス分解、帯電装置、除電装置、コロナ処理装置

性 能
1. 出力電圧 パルス0〜±15KVp-p(又は0〜±2KVp-p)以下
2. 出力容量 0.5〜2KW(又は3〜6KW)
3. 立上り/立下り時間 2μSec以下
4. 出力周波数 1〜100KHz
5. 出力安定度 0.5%以下
6. 保護機能 電圧垂下型高速過電流トリップ
波 形