Product-製品案内
イオンビーム複合電源装置
概 要
本器は、イオンビーム用の複合電源装置であり、イオン加速電源、減速電源、フィラメント電源、ニュートラライザ電源から構成された複合DC電源装置です。

特 長
■PWM制御高周波スイッチング方式により出力を安定化した
 電源であるため、ドロッパー方式に比べ小型、軽量である。
■出力がフローティング出力となっており、耐圧2kVの電圧に
 重畳可能である。
■スパークカッターを付加することによりアーキング防止可能(オプション)

用 途
真空蒸着、CVD、スパッタ、イオン加速・減速、イオンビーム。

性 能
1. フィラメント電源 DC0〜12V/100A 耐電圧2〜30KV
2. ニュートラライザ電源 DC0〜20V/20A 耐電圧2〜30KV
3. 加速電源 DC0〜+2KV/1A(又は0〜30KV)
4. 減速電源 DC0〜-3KV/300mA