Product-製品案内
半導体方式バイポーラパルス高周波高圧電源 SBP-5K-HF型
概 要
本装置は、入力AC100V(又AC200V)±10% 50/60Hz 1φで出力がパルス波0〜±5kV/40mA(正、負各々可変)パルス幅1.5〜10μsec可変の半導体方式バイポーラパルス高周波高圧電源です。 特長として従来のサイン波による高周波電源と比べ、出力波形がパルス波で立ち上がり/立ち下がり(100nsec以下)が速いので処理効果が高く、効率が良い。又、出力パルス周波数が広帯域に渡って可変(10〜80KHz)できるので、負荷の条件にあった周波数を選ぶことを可能にした電源機器です。

特 長
■出力周波数を広範囲に連続して変化させることができる。(10〜80kHz)
■マッチングボックス不要なので取り扱いが容易で経済性に優れている。

用 途
スパッタリング 、プラズマCVD 、オゾン発生器 、イオン注入、
エッチング 、プラズマディスプレイ
波 形