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スパッタリング用パルス電源
スパッタリング用パルス電源
PS-5K型
■負荷とのマッチング回路が不要
■出力周波数の設定範囲が10〜50kHzと広い
■応答速度の速いアーク遮断機能内蔵
■対称バイポーラ・パルス電源、ユニ・ポーラ・パルス電源、
 直流電源、非対称バイポーラ・パルス電源として使用可能
 
大気圧プラズマ・ジェット
大気圧プラズマ・ジェット
PJ-6K型
■各種材料表面の水の濡れ性を大幅に改善
■マスキング等の予備処理をせず処理幅の狭い表面改質が可能
■三次元形状製品の表面改質
■金属、樹脂フィルム印刷時のインクの密着性向上
■金属、樹脂フィルム、不織物の接着性向上
 
半導体方式バイポーラパルス高周波高圧電源
半導体方式バイポーラパルス高周波高圧電源
SBP-5K-HF型
■マッチングボックス不要(負荷の影響を受けない)
 どんな負荷でも対応できる。
■MOSFETによるスイッチング方式
■出力パルス周波数設定広域可変10〜80kHz
■出力パルス0〜±5kV/40mA(正、負各々可変)
 
ワイヤー式除電装置
ワイヤー式除電装置
PWDS-10K型
■除電効率95%
■高速除電可能
■逆帯電防止可能
■メンテナンス性に優れている
 
プラズマ発生用高周波高圧電源
プラズマ発生用高周波高圧電源
PHF-2K型
■マッチングボックス不要
■イオン発生量 10倍以上
 [従来高周波電源(サイン波)比]
■発振周波数 広域可変
■出力電圧 0〜±15kVp-p
 
ピンニング電源装置
ピンニング電源装置

■出力電圧 DC0〜30KV/10mA
■リップ含有率 0.02%/Vp-p以下
■出力電圧安定度 0.05%以下
■制御方式 PWM定電圧方式

 
帯電電源
帯電電源
■出力電圧 DC0〜10KV/20mA
■出力電圧安定度 0.1%以下
■制御方式 定電圧方式
■出力電圧復帰時間 20mSec
 
直流高圧安定化電源
直流高圧安定化電源
■入力電源 AC100・200V
■出力0〜100%連続可変可能
■PWM制御共振型スイッチング方式のため高性能
■静電応用機器用途
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